パワー変換デバイスの作製と計測パワー変換デバイスの作製と計測

半導体、電子部品など多くの産業に共通の「ものづくりの基本」学習として、 クリーンルーム内の実験装置を使って、パワー半導体デバイスの作製を例にプロセスを学びます。微細パターンが可能なリソグラフィ、蒸着、合金炉などを操作し、動作層のエピタキシャル層を積層したシリコンに、オーミック電極、ショットキー電極を形成し、電気特性を測定します。自分達で作ったデバイスが、本当に教科書のように動くのか、ドキドキの実験です。

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