APEXに論文掲載されました(SiC: 高温CO2熱処理)

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2021年9月22日

Applied Physics Expressに論文が掲載されました。CO2雰囲気中での熱処理がSiC MOS特性の改善に効果的であることを報告しています。不活性なCO2ガスでも超高温だとSiCが酸化されるって不思議ですよね。
“High-temperature CO2 treatment for improving electrical characteristics of 4H-SiC(0001) metal-oxide-semiconductor devices”
Takuji Hosoi, Momoe, Ohsako, Takayoshi Shimura, and Heiji Watanabe
Applied Physics Express, vol.14(10), 101001 (2021).

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