APEXに論文掲載されました(SiC: NO窒化+CO2処理)

カテゴリ:お知らせ 

2022年5月25日

Applied Physics Expressに論文が掲載されました。昨年出版されたの高温CO2熱処理の続報で、NO窒化処理とCO2処理を組み合わせることでSiC MOSFETの信頼性向上につながることを報告しています。
“Impact of post-nitridation annealing in CO2 ambient on threshold voltage stability in 4H-SiC metal-oxide-semiconductor field-effect transistors,”
Takuji Hosoi, Momoe Ohsako, Kidist Moges, Koji Ito, Tsunenobu Kimoto, Mitsuru Sometani, Mitsuo Okamoto, Akitaka Yoshigoe, Takayoshi Shimura and Heiji Watanabe
Applied Physics Express, vol.15(6), 061003 (2022).

Copyright © School of Engineering,Kwansei Gakuin University. All Rights reserved.