2022年10月19日にオンライン開催された電子情報通信学会 エレクトロニクス ソサイエティ シリコン材料・デバイス(SDM)研究専門委員会2022年10月研究会にて細井が以下の招待講演を行いました。
“CO2熱処理によるSiC MOSFETの信頼性向上”
細井 卓治, 志村 考功, 渡部 平司
2022年10月19日にオンライン開催された電子情報通信学会 エレクトロニクス ソサイエティ シリコン材料・デバイス(SDM)研究専門委員会2022年10月研究会にて細井が以下の招待講演を行いました。
“CO2熱処理によるSiC MOSFETの信頼性向上”
細井 卓治, 志村 考功, 渡部 平司
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