M1の井上湧太君の論文がMaterials Science in Semiconductor Processingに掲載されました(栃崎渉君、岩井俊達君、田邉一義君が共著者です)。タイトルは、”Nitrogen doping concentration dependence of nitrogen incorporation
kinetics during physical vapor transport growth of 4H–SiC crystals”です。
M1の井上湧太君の論文がMaterials Science in Semiconductor Processingに掲載されました(栃崎渉君、岩井俊達君、田邉一義君が共著者です)。タイトルは、”Nitrogen doping concentration dependence of nitrogen incorporation
kinetics during physical vapor transport growth of 4H–SiC crystals”です。
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